经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准，都规定了有关的洁净度等级，我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84)，1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施工和验收的重要文件。
2010年国家标准《洁净室施工及验收规范》已被批准,标准号为GB50591-2010,于2010年12月1日正式实施。该标准涉及到工业、农业、科研、军工、公共场所等领域,是关于洁净室及其受控环境的施工、安装、检测、验收的国家标准,也是这个领域本的国家标准。
目前公司执行的新洁净室标准：
GB50073-2013(洁净厂房设计规范）
GB50591-2010(洁净室施工及验收规范）
空气洁净度分级标准：ISO14644-1（国际标准）
空气洁净 度等级(N) | 大于或等于所标粒径的粒子大的浓度限值（个/每立方米空气粒子） | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1.0um | 5.0um | |
ISO Class1 | 10 | 2 | | | | |
ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
ISO Class5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO Class6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO Class7 | | | | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
ISO Class8 | | | | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
ISO Class9 | | | | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
